20年專注等離子清洗機(jī)研發(fā)生產(chǎn)廠家
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氣流量的大小對(duì)清洗的影響較大，等離子清洗機(jī)在清洗中，要保持一定的真空度(0.1-0.2torr)才能產(chǎn)生輝光進(jìn)行清洗，在0.1-0.2torr真空度下對(duì)于清洗的效(果)都是相同的。在真空度越低的狀態(tài)下，相對(duì)的輝光較強(qiáng)。在清洗的過(guò)程中，需要隨時(shí)將被清洗下來(lái)的污染物用真空泵抽走，同時(shí)也要隨時(shí)補(bǔ)充干凈的氣體，為保持一定的真空度，進(jìn)氣與抽出的氣體應(yīng)該處于一種動(dòng)態(tài)平衡的狀態(tài)，如果進(jìn)氣量過(guò)大，對(duì)真空泵的要求就高，這樣一來(lái)將浪費(fèi)氣體。另外，針對(duì)高要求的超清洗氣源應(yīng)先過(guò)濾，再輸入plasma等離子清洗機(jī)的腔體，這時(shí)的氣體流量也不可過(guò)大.
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CRF plasma 等離子清洗機(jī)
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